微细电火花加工技术的进展

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微细电火花加工技术的进展

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中文摘要：本文系统地研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势.比较分析了常用微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用,论述了线电极电火花磨削技术的原理及在微细加工中的作用,介绍了微细电火花加工技术在微三维结构制作中的应用.作为一种实用的微细加工技术,微细电火花加工技术已经成为MEMS技术的有力补充,并有望成为微三维结构制作的主流技术之一.

作者：

赵万生、王振龙

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作者单位：

哈尔滨工业大学机电学院(哈尔滨)

关键词：

微细加工微细电火花加工微型装置加工技术微三维结构

主办单位：

中国机械工程学会

会议名称：

2002年中国机械工程学会年会

会议时间：

2002-12-01

会议地点：

北京

会议母体文献：

2002年中国机械工程学会年会论文集

页码：

937-941

出版时间：

2002