光反射法微摩擦测试仪

扫码查看

原文链接

NETL

中文摘要：为研究MEMS的微摩擦需设计一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器,尤其是能进行微机构摩擦力和正压力测试的大范围、高灵敏度的微摩擦检测装置.本文给出了一种基于光反射法的微摩擦测试仪的设计方法,介绍了该仪器的设计原理、测力传感器的结构设计、仪器的标定方法.硅测力传感器采用MEMS工艺制作,具有变形量大、线性度好、灵敏度高等优点.实验结果表明,该测试仪能满足微机电系统微摩擦测试的需要.

作者：

于正林、吴一辉、刘治华、贾宏光、黎海文

展开 >

作者单位：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130033

关键词：

微摩擦测试仪光反射法硅传感器线阵CCD MEMS

主办单位：

中国机械工程学会

会议名称：

中国微米纳米技术第七届学术年会

会议时间：

2005-08-13

会议地点：

大连

会议母体文献：

中国机械工程

页码：

1299-1302

出版时间：

2005