摘要
飞秒激光三维微细加工是一种集超快激光，CAD/CAM，光化学材料等技术于一体的新型加工方法，他采用单点扫描累积成型，由点成线，由线成面进行加工。要得到精细的三维微器件，不仅需要高加工分辨率，还须选用合适的扫描步距。本文采用不同重复率工艺参数对得到的表面质量进行了分析，优化了微器件加工的重复率参数。 本文还基于自由基浓度理论和曝光等效性原理，对重复率影响表面质量进行了仿真。加工系统采用飞秒激光光源：脉宽 80fs，中心波长 800nm,重复频率80MHz，输出功率 400mw；使用数值孔径（NA=1.25）浸油物镜聚焦；三维扫描使用 PZT 移动台；材料是聚丙稀类 S-3 负性光刻胶。实验中采用步距 0.1um,0.2um ,0.3um,0.4um 得到不同平面，并测得其表面粗糙度，分析了重复率对微器件表面质量的影响。
NETL