EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试

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中文摘要：研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试.EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14μm,像元数2048×2048.在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1nm波长处,空间分辨率达到19μm,相当于极限分辨率为26lp/mm。

作者：

巩岩、中国科学院、宋谦、叶彬浔

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作者单位：

中国科学院,国家天文台,北京,100088

长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033

关键词：

EUV波段 MCP像管 CCD相机空间分辨率光锥

主办单位：

中国仪器仪表学会

会议名称：

第五届全国精密工程学术研讨会

会议时间：

2005-11-01

会议地点：

深圳

会议母体文献：

光学精密工程

页码：

56-59

出版时间：

2005