用激光热应力法评估薄膜蠕变性能

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中文摘要：对变温条件下薄膜的蠕变性能进行了理论分析,基于ANSYS平台建立了连续移动激光诱导下,以WC-6％Co为基体的(Ti,A1)N薄膜的有限元模型,分析了薄膜在升温和降温时温度场及应力场随时间变化的规律.分析与计算结果表明:变温状态薄膜的应力蠕变函数可以由沿任一组温度历史条件下的恒温状态的应力蠕变曲线来确定;升温时,薄膜压应力增大,拉应力是由温度下降时产生的;垂直于光轴方向的拉应力是光轴方向的3倍;薄膜断裂比层裂的可能性要大。

作者：

李粤、江苏大学机械工程学院、张永康、郭华锋

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作者单位：

华南热带农业大学机电与信息工程学院,海南,儋州,571737

江苏,镇江,212013

江苏大学机械工程学院,江苏,镇江,212013

关键词：

激光热应力法薄膜蠕变性能温度场应力场 ANSYS平台

主办单位：

中国光学学会

中国激光编辑部

会议名称：

第八届全国激光加工学术会议

会议时间：

2006-11-25

会议地点：

广州

会议母体文献：

第八届全国激光加工学术会议

页码：

91-97

出版时间：

2006