1-3型压电复合材料电极的制备

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中文摘要：采用磁控溅射工艺以Cu、Ag为靶材在1-3型压电复合材料表面制备电极。研究了两种金属材料的溅射镀膜工艺,系统地分析了溅射功率对金属沉积速率、电极导电性能及附着力的影响。结果表明,两种金属的沉积速率随溅射功率的增加呈线性增加,电极方阻及电阻率均随功率增大而减小,溅射功率为100W时电极的附着力较好。

作者：

万媛媛、李莉、北京邮电大学、王丽坤、秦雷、魏兵

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作者单位：

北京信息工程学院,传感技术研究中心,北京,100101

自动化学院,北京,10076

关键词：

磁控溅射压电复合材料电极方阻导电性能附着力

主办单位：

中国仪器仪表学会

中国物理学会

中国光学学会

会议名称：

第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议时间：

2007-11-15

会议地点：

武汉

会议母体文献：

第六届中国功能材料及其应用学术会议

页码：

738-740

出版时间：

2007