退火气氛对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响

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中文摘要：通过溶胶-凝胶法,采用Al、F共掺杂的方法在4种不同的气氛下制备ZnO薄膜,研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随退火气氛的变化关系.制备的Al:F:ZnO薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜。4种退火气氛相比,在空气气氛下退火时,平均晶粒尺寸最大,为43.4nm,导电性能最好,电阻率可低达6.5×10-2Ω·cm.4种退火气氛下,薄膜在可见光范围内的平均透过率均达到了75％以上,其中,空气气氛下退火时薄膜的透光性最好。

作者：

周丽萍、吕珺、汪冬梅、陈雯雯、吴玉程、郑治祥

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作者单位：

合肥工业大学,材料科学与工程学院,安徽,合肥,230009

关键词：

ZnO导电薄膜 AlF共掺杂溶胶凝胶法退火气氛导电性能

主办单位：

中国仪器仪表学会

中国物理学会

中国光学学会

会议名称：

第六届中国功能材料及其应用学术会议

会议时间：

2007-11-15

会议地点：

武汉

会议母体文献：

第六届中国功能材料及其应用学术会议

页码：

536-538

出版时间：

2007