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基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

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介绍了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程，分析了制备的技术关键，试验优选了关键制备环节的工艺参数。试验结果表明：采用优化的工艺条件能低成本制备出形貌质量高、缺陷少的微型柔性镍接触探针。

明平美、朱荻、胡洋洋、赵波、曾永彬

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河南理工大学机械与动力工程学院，河南焦作，454000

南京航空航天大学，江苏南京，210016

UV-LIGA 柔性镍接触探针 SU-8胶 光刻 电铸 集成电路检测

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