采用三向照明成像的三维微结构观测系统

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中文摘要：针对一般三维微结构的显微成像,提出并设计了一个可实现实时调节的三向照明成像观测系统.通过自主研制的控制软件,根据成像质量对任一光源的光强及光束入射角、入射距离实现实时调节.与通常的底部透射光照明系统比较,成像质量大大提高,不仅可以清晰观察目标对象的表面结构,还能得到立体感强的三维图象.针对如何对面阵CCD显微测量系统进行标定以及减小标定误差的问题,提出了一种简便、快捷、实用、标定精度较高的螺旋缝标定法,并配以适当的观测手段和计算方法,有效提高了系统的标定精度.通过系统标定和测量比较,系统的标定精度达到±0.0015μm,测量精度达到±1μm.

作者：

张麟、陈涛、刘世炳、左铁钏

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作者单位：

北京工业大学激光工程研究院,激光微技术实验室(北京)

关键词：

微机械器件 CCD 显微测量标定误差照明成像微结构观测

主办单位：

中国光学学会

会议名称：

第十届全国光电技术与系统学术会议

会议时间：

2003-08-01

会议地点：

长沙

会议母体文献：

光电子技术与信息/2003.8增刊

页码：

1989-1996

出版时间：

2003