外延片检测系统

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外延片检测系统

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中文摘要：本文介绍了一种利用激光荧光光谱(PL)和白光反射谱,对发光二极管(LED)外延片进行无损检测的仪器。该仪器可迅速对LED外延片进行检测,给出相关参数。实现智能化检测。

作者：

董占民、孙红三

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作者单位：

清华大学

关键词：

LED 外延片荧光光谱 CCD 计算机

主办单位：

中国有色金属学会

中国有色金属工业协会

华南师范大学

会议名称：

第十届全国MOCVD学术会议

会议时间：

2007-11-01

会议地点：

广州

会议母体文献：

第十届全国MOCVD学术会议论文集

页码：

299-302

出版时间：

2007