Ti6A14V合金等离子体基氧离子注入层的层状结构

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中文摘要：采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6Al4V合金进行表面改性.注入负脉冲电压分别为10、20、30、40、50kV,注入剂量为0.6×1017 ions/cm2.用XPS分析了注氧层中元素的分布和化学态.结果显示,注入电压增加,氧的浓度深度分布增加.注入氧元素的浓度深度分布曲线不同于束线式注入氧元素的类高斯分布,表面氧浓度最大,随着深度的增加出现一个略倾斜的氧浓度平台,该平台的宽度随注入电压增加而增加.氧离子注入引起基体元素Ti、Al、V的浓深分布发生变化,近表面区域Ti的原子百分含量减少,Al的含量增高,而V未检测到.并且随着注入电压的增加,近表面区域富集Al的浓度明显增加,富Al贫V的区域也明显加大。注入样品的改性层具有相似的层状结构,由表及里依次为表面污染层、TiO2和Al2O3组成薄的外层、内层在改性层中占的比例最大,由TiO2、Ti2O3、TiO、Ti、Al、Al2O3,V和VO组成.

作者：

李金龙、马欣新、孙明仁

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作者单位：

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001

关键词：

Ti6A14V 氧等离子体基离子注入 X射线光电子能谱层状结构

主办单位：

中国机械工程学会

会议名称：

第九次全国热处理大会

会议时间：

2007-09-01

会议地点：

大连

会议母体文献：

第九次全国热处理大会论文汇编

页码：

279-283

出版时间：

2007