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基于GMR效应的新型生物传感器研究

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制备出了结构为Ta/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta,磁阻变化达9.2%的GMR自旋阀传感器,并用该种传感器对浓度为200 μg/mL、直径2μm的生物免疫磁球溶液进行了检测.实验结果表明,该生物传感器可以对被测生物免疫磁球溶液产生平均350 μV的电压输出信号,随着磁球溶液的继续增加,电压输出信号可以达到最大值450 μV.除去背景干扰信号的影响,由磁球产生的有效电压输出信号为300 μV.此外,交流励磁场的频率的增加也会使输出电压信号减小.

张超奇、周非、曲炳郡、任天令、刘理天

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清华大学,微电子学研究所,北京,100084

生物传感器 巨磁电阻 免疫磁球 电压输出信号

中国仪器仪表学会

中国电子学会

中国航空学会

中国生物医学工程学会

第十届全国敏感元件与传感器学术会议

2007-08-25

北京

第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集

373-375

2007