传感器微型化技术和新代传感器的发展——浅谈微机械加工技术和薄膜技术

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传感器微型化技术和新代传感器的发展——浅谈微机械加工技术和薄膜技术

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NETL

作者：

刘锦淮

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作者单位：

中国科学院合肥智能机械研究所

关键词：

传感器

会议名称：

第一届全国智能信息技术讨化会

会议时间：

1992-03-19

会议地点：

北京

会议母体文献：

第一届全国智能信息技术讨论会论文集

页码：

24-27

出版时间：

1992