半导体器件用硅化钨

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半导体器件用硅化钨

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NETL

作者：

徐镜卢

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作者单位：

上海钢铁研究所

关键词：

半导体器件

主办单位：

中国钨业协会

会议名称：

第六届全国钨钼学术交流会

会议时间：

1992-11-01

会议地点：

杭州

会议母体文献：

第六届全国钨钼学术交流会论文集

页码：

86-93

出版时间：

1992