原子力显微镜（ＡＦＭ）的力传感器

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原子力显微镜（ＡＦＭ）的力传感器

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NETL

作者：

薛实福

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作者单位：

清华大学

关键词：

力传感器

会议名称：

第四届全国敏感元件与传感器学术会议

会议时间：

1995-05-01

会议地点：

上海

会议母体文献：

第四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集

页码：

231-233

出版时间：

1995