硅电容加速度传感器的设计和研制

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硅电容加速度传感器的设计和研制

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中文摘要：该文介绍了一种硅电容加速度传感器的设计和研制，通过采用新型三维无掩模腐蚀工艺，形成对称梁差动电容结构以减小传感器的横向效应。

作者：

陶盛

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作者单位：

复旦大学电子工程系

关键词：

加速度传感器

会议名称：

第五届全国敏感元件与传感器学术会议

会议时间：

1997-01-01

会议母体文献：

第五届全国敏感元件与传感器学术会议文集

页码：

101-102

出版时间：

1997