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二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解

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刘妤、温志渝、张流强、梁玉前、温中泉、李霞

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重庆大学光电工程学院,重庆,400044

重庆工学院车辆工程学院,重庆,400044

重庆大学光电工程学院,,重庆,400044

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中国微米/纳米第六届学术年会

2003-08-27

太原

中国微米/纳米第六届学术年会论文集

289-291

2003