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高速沉积高效微晶硅太阳电池的研究

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微晶硅太阳电池是硅基薄膜太阳电池的新一代技术。如何提高微晶硅太阳电池的沉积速率是降低其制造成本的关键技术。本文研究了提高微晶硅薄膜沉积速率的方法,并研究了在高速沉积条件下影响微晶硅薄膜质量、进而影响电池性能的关键因素,提出了高速沉积优质微晶硅薄膜和高效微晶硅电池的有效途径。在微晶硅薄膜的沉积速率12(A)/s时,单结微晶硅电池效率达到9.36%,非晶硅,微晶硅叠层电池效率11.3%。

微晶硅电池 高速沉积 叠层电池 太阳能电池

中国可再生能源学会

第十届中国太阳能光伏会议

2008-09-19

常州

第十届中国太阳能光伏会议论文集

376-379

2008