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高速沉积高效微晶硅太阳电池的研究
高速沉积高效微晶硅太阳电池的研究
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中文摘要:
微晶硅太阳电池是硅基薄膜太阳电池的新一代技术。如何提高微晶硅太阳电池的沉积速率是降低其制造成本的关键技术。本文研究了提高微晶硅薄膜沉积速率的方法,并研究了在高速沉积条件下影响微晶硅薄膜质量、进而影响电池性能的关键因素,提出了高速沉积优质微晶硅薄膜和高效微晶硅电池的有效途径。在微晶硅薄膜的沉积速率12(A)/s时,单结微晶硅电池效率达到9.36%,非晶硅,微晶硅叠层电池效率11.3%。
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关键词:
微晶硅电池
高速沉积
叠层电池
太阳能电池
主办单位:
中国可再生能源学会
会议名称:
第十届中国太阳能光伏会议
会议时间:
2008-09-19
会议地点:
常州
会议母体文献:
第十届中国太阳能光伏会议论文集
页码:
376-379
出版时间:
2008