KMC模拟薄膜生长反常效应的研究

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中文摘要：以扩散理论基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,首次对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行KINETIC MONTECARLO模拟.模拟发现,温度较低时沉积原子自身更容易聚集成核,这一反常效应是由于表面活化剂原子比沉积原子更容易被激活扩散造成的.活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,交换比并非恒等于1,而是与温度、入射率、成膜厚度等多种因素有关.

作者：

郑小平、张佩峰、贺德衍、郝远

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作者单位：

兰州城市学院,电子信息科学与技术研究所,兰州,730070,兰州理工大学,甘肃省有色金属新材料重点实验室,兰州,730050

兰州城市学院,电子信息科学与技术研究所,兰州,730070,兰州大学,物理科学与技术学院,兰州,730000

兰州大学,物理科学与技术学院,兰州,730000

兰州理工大学,甘肃省有色金属新材料重点实验室,兰州,730050

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关键词：

KMC模拟薄膜生长反常效应扩散理论表面活化剂

主办单位：

中国微纳米技术学会

会议名称：

第七届中国国际纳米科技（武汉）研讨会

会议时间：

2008-10-01

会议地点：

武汉

会议母体文献：

第七届中国国际纳米科技（武汉）研讨会论文集

页码：

29-31,34

出版时间：

2008