纳米膜层厚度溯源与标准化

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中文摘要：概述当前纳米材料结构膜厚参数的计量现状，讨论建立和完善我国纳米膜厚的计量溯源体系。分析X射线反射法(XRR)、椭圆偏振法(ELM)、扫描探针显微法(SPM)等高精度测量方法的计量特性，并以此作为纳米膜厚计量的标准方法。研制膜厚标准样板，为X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光测厚仪(XRF)、扫描探针显微镜(SPM)、扫描电镜(SEM)、电子探针微区分析(EPMA)、椭偏仪等纳米薄膜、纳米涂层厚度测试仪器的测量表征能力提供实物传递标准，实现纳米膜厚的量值溯源。为我国建立纳米膜厚测量标准和实现纳米膜厚测量方法标准化提供技术准备。

作者：

崔建军、高思田、杜华、李宏波、胡宝富、卢明臻、施玉书

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作者单位：

中国计量科学研究院,北京100013

北京理工大学,北京100081

北京科技大学,北京100084

关键词：

计量学 X射线衍射纳米膜厚纳米计量原子力显微镜纳米标准

主办单位：

中国计量测试学会

会议名称：

第七届海峡两岸计量与质量研讨会

会议时间：

2008-09-26

会议地点：

杭州

会议母体文献：

第七届海峡两岸计量与质量研讨会论文集

页码：

278-282

出版时间：

2008