多晶Fe3O4薄膜的制备和性能

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多晶Fe3O4薄膜的制备和性能

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中文摘要：Fe3O4 材料以其100％的自旋极化率、高居里温度等优异的性能，成为磁随机存储器、磁传感器以及磁头的首选材料。本试验通过磁控溅射法在室温条件下制备了多晶Fe3O4薄膜，并从薄膜的电性和磁性两方面着手研究氧含量的不同对多晶Fe3O4薄膜电子输运性能的影响。

作者：

王健、王雅欣、张晓、刘晖

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作者单位：

天津理工大学材料学院，天津 300191

南开大学信息技术科学学院，天津 300071

关键词：

自旋极化率居里温度磁控溅射法多晶薄膜电子输运性能

主办单位：

中国电子学会

会议名称：

第十届固体薄膜会议

会议时间：

2006-10-27

会议地点：

苏州

会议母体文献：

第十届固体薄膜会议论文集

页码：

90-95

出版时间：

2006