大尺寸单晶硅生长过程的数值模拟

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中文摘要：利用块结构化网格对一典型工业用单晶硅结晶炉系统进行离散，对单晶炉内部硅熔体对流、所有部件的传导换热和炉腔内的辐射换热进行整体耦合求解。针对大尺寸坩埚内的硅熔体湍流模拟，引入了基于大涡数值模拟的Smagorinsky亚格子涡粘模型。数值分析了单晶硅生长过程中不同阶段的传热和流动特性，以及湍流输运对凝固相变界面形状的影响。

作者：

刘鑫、刘立军、王元、柿本浩一

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作者单位：

西安交通大学能源与动力工程学院，西安，710049

西安交通大学能源与动力工程学院，西安，710049 浙江大学硅材料国家重点实验室，杭州，310027

日本九州大学应用力学研究所，福冈，日本

关键词：

全局模拟亚格子模型单晶硅提拉法湍流输运熔体对流传导换热大涡数值模拟

主办单位：

中国工程热物理学会

会议名称：

中国工程热物理学会传热传质学2009年学术会议

会议时间：

2009-11-01

会议地点：

青岛

会议母体文献：

中国工程热物理学会传热传质学2009年学术会议论文集

页码：

1-6

出版时间：

2009