基于透射光谱法拟合高掺Sn二氧化硅薄膜的参数

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中文摘要：由于普通的化学气相沉积法制作高掺Sn的二氧化硅薄膜比较容易产生结晶，而溶胶-凝胶法制备薄膜化学组成比较容易控制，可以制作出掺Sn浓度较大的材料.文章采用了溶胶-凝胶的方法制备出了50％70％及90％不同掺Sn浓度的Si02薄膜，用浸渍法多次提拉薄膜以增加薄膜的厚度，之后用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射光谱.本文针对双面光学薄膜，建立数学模型从理论上分析推导了其透射率T与入射光波长λ、薄膜折射率n、消光系数k、薄膜厚度d之问的关系。然后根据峰值理论，计算n和d的初值.最后拟合出具有不同浓度的薄膜的折射率随入射波长变化曲线，结果表明薄膜的折射率随着二氧化锡含量的增加而升高。

作者：

鹿焕才、贾宏志、魏葰

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作者单位：

上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代光学系统重点实验室,200093

关键词：

透射光谱二氧化硅薄膜折射率消光系数曲线拟合溶胶-凝胶法

主办单位：

上海市激光学会

会议名称：

上海市科协第七届学术年会—上海市激光学会2009年学术年会

会议时间：

2009-10-01

会议地点：

上海

会议母体文献：

上海市科协第七届学术年会—上海市激光学会2009年学术年会论文集

页码：

249-255

出版时间：

2009