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SOI片上的1×8阵列上下载微环滤波器
王世君 1黄永箴1
作者信息
- 1. 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京 100083
- 折叠
摘要
本研究利用193加深紫外曝光的方法应用CMOS技术在SOI片上加工制作了1×8阵列上下载微环滤波器，微环半径分别为21，20.5，20，和19.5μm。通过测量直通端的透射光谱，我们在1540到1560nm的波段上观测到微环阵列谐振波长的透射谱凹陷，对应的消光比均大于15dB，在谐振波长1559.511m处的消光比高达35 dB。在半径为20μm的微环下载端，测得的波长为1540.3，1544.6，1548.9，1553.1和1557.5nm的下载峰，对应的自由谱宽为4.3nm。
关键词
集成电路/微环滤波器/芯片制造/紫外曝光引用本文复制引用
主办单位
中国电子学会/中国通信学会/中国光学学会会议名称
全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议会议时间
2009-10-26会议地点
天津会议母体文献
全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议论文集页码
p.456-458出版时间
2009