计量型原子力显微镜环境温度的测控

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中文摘要：在纳米结构的检测与表征领域中,温度是影响纳米尺度测量精度的重要误差源。为此,根据测量材料的热物性和空气折射率与光学测量的关系,以计量型原子力显微镜和大范围纳米测量机为例,首先通过设计高精度多点测温系统进行精密的温度测量,分析估计在扫描测量纳米结构过程中温度变化对其测量结果的影响。其次对纳米测量中温度测量的相关技术问题进行了研究,以保证纳米表征和检测在纳米尺度及其量值上的准确性。

作者：

崔建军、高思田、邵宏伟、杜华、卢明臻、施玉书、李洪波、皮磊

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作者单位：

中国计量科学研究院,北京 100013

北京理工大学信息技术学院,北京 100081

关键词：

温度测量原子力显微镜纳米测量机测量不确定度纳米结构

主办单位：

中国计量测试学会

会议名称：

2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议时间：

2009-11-01

会议地点：

杭州

会议母体文献：

2009年全国几何量精密测量技术学术交流会论文集

页码：

123-127

出版时间：

2009