用原子力显微镜研究Cu薄膜的表面结构与性能

扫码查看

原文链接

NETL

中文摘要：原子力显微镜因分析材料的表面结构与性能方面具有独特的优势，在许多领域受到大家的青睐。本文采用原子力显微镜的轻敲模式，对退火前后的Cu/glass进行了测试，分析了其表面形貌与相位差图包含的一些信息，探讨了薄膜的表面结构与表面性能及成份等之间的关系，并采用了XPS，XRF等其他分析手段进行了验证。

作者：

刘翠秀、徐学东、刘林林、牛文国、刘丽峰

展开 >

作者单位：

北京工业大学固体微结构与性能研究所,100124

首都示范大学物理系

关键词：

原子力显微镜 Cu薄膜表面结构表面性能退火相位差图

主办单位：

中国微米纳米技术学会

会议名称：

第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会

会议时间：

2010-05-09

会议地点：

厦门

会议母体文献：

第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会论文集

页码：

190-191

出版时间：

2010