摘要
本文采用单相单向叉指换能器(SPUDT)降低乐甫波传感器的双向损耗，并从实验方面研究了SPUDT结构反射中心位置对器件损耗的影响。乐甫波传感器的多层波导结构改变了常规的EWC／SPUDT(控制栅条宽度的SPUDT)的反射系数和换能系数，不能实现完全的单向传播，从而使传感器损耗变大。本文通过调整反射栅的位置，来改变反射中心和换能中心的间距L，通过实验的方法分析L对损耗的影响，得到了间距L与器件损耗之间的关系。本文实验基片采用ST-90°X石英，铝电极厚度为0.77％λ(λ为SPUDT周期)，声波导材料为二氧化硅，厚度为0.0128λ，L大小范围为(3／8—1／9)λ到(3／8+1／9)λ。实验结果表明，随着反射中心和换能中心间距L的增大，器件中心频率处的损耗从20.2dB减小到12.5dB;器件的单向性能得到改善。
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