不同基区掺杂浓度NPN双极晶体管电离辐照效应

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中文摘要：本文对相同工艺制作但基区掺杂浓度不同的国产NPN双极晶体管,在不同剂量率条件下进行60Coγ辐照效应和退火特性研究。结果显示,晶体管基区掺杂浓度不同,对高、低剂量率的辐照响应也不相同,低基区掺杂浓度的晶体管辐照损伤明显高于高基区掺杂浓度的晶体管。

作者：

席善斌、陆妩、郑玉展、许发月、周东、李明、王飞、王志宽、杨永晖

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作者单位：

中国科学院,新疆理化技术研究所,新疆,乌鲁木齐,830011

新疆电子信息材料与器件重点实验室,新疆,乌鲁木齐,830011

中国科学院研究生院,北京,100049

关键词：

NPN双极晶体管 60Coγ辐照基区掺杂浓度辐照损伤退火特性

主办单位：

中国核学会

北京核学会

会议名称：

第六届(2010年)北京核学会核技术应用学术交流会

会议时间：

2010-10-01

会议地点：

苏州

会议母体文献：

第六届(2010年)北京核学会核技术应用学术交流会论文集

页码：

533-537

出版时间：

2010