甩胶法制备ITO薄膜及性能研究

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中文摘要：本文采用溶胶凝胶通过甩胶制备薄膜方法制备了ITO薄膜。以转速、甩胶时间、干燥温度和退火温度为参数进行正交试验，确定了甩胶法制备ITO薄膜的最优化条件，并对最优化条件下制备的薄膜进行了电学性能、光学性能和形貌分析。结果表明，该透明导电薄膜具有良好的导电性能及透光性能，其表面方阻为13Ω/□，可见光透过率达到了96% 。

作者：

高德文、武光明、佟帅

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作者单位：

北京石油化工学院北京 102617

关键词：

ITO薄膜甩胶法光电性能

主办单位：

中国微米纳米技术学会

纳米科技编辑部

会议名称：

2010年第九届中国国际纳米科技（西安）研讨会

会议时间：

2010-11-15

会议地点：

西安

会议母体文献：

2010年第九届中国国际纳米科技（西安）研讨会论文集

页码：

1-5

出版时间：

2010