SOI高温压力传感器研究进展及应用

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中文摘要：高温压阻式压力传感器在军事和民用方面具有广阔的应用前景。当前，适于高温环境应用的压力传感器研究备受关注。本文概述了高温压力传感器国内外研究现状，重点介绍了SOI单晶硅高温压力传感器的相关研究工作，对研究工作中的问题和发展趋势进行了深入探讨。

作者：

刘沁、李新、唐慧

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作者单位：

传感器国家工程研究中心

沈阳工业大学

关键词：

高温压力传感器 SOI 单晶硅

主办单位：

中国仪器仪表学会

广东省仪器仪表学会

会议名称：

中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议

会议时间：

2011-05-01

会议地点：

扬州

会议母体文献：

中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议论文集

页码：

97-101

出版时间：

2011