超高真空表面分析平台的调试

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中文摘要：介绍了超真空表面分析平台的调试过程。该设备是由真空系统、变温扫描隧道显微(VT-STM)系统、样品处理系统以及分子束外延生长系统组成。该系统结构复杂，对实验人员的实验技能要求非常高。通过对该实验平台的调试以及使用情况的分析、总结，根据调试方法获得了Si(111)样品在室温、低温以及高温条件下的STM扫描图像，并在硅基底上进行了Cr材料的分子束外延生长，从而证明了这种调试方法的正确性和可行性，为今后对同类实验设备的调试提供了可靠的经验。

作者：

朱国勤、朱振宇、李洪波、任冬梅、万宇

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作者单位：

北京长城计量测试技术研究所,北京 100095

关键词：

表面分析平台真空环境成膜系统调试过程

主办单位：

中国兵工学会

会议名称：

中国兵工学会2011年光学与光电技术交流会

会议时间：

2011-10-01

会议地点：

成都

会议母体文献：

中国兵工学会2011年光学与光电技术交流会论文集

页码：

98-101

出版时间：

2011