高精度三维测量系统331原则

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中文摘要：仪器测量系统结构布局对仪器精度有重要影响,为了既保证测量精度又降低成本,在仪器的设计上提出了多种原则,如传统的阿贝原则及艾伯斯坦原理等。但这些原则均只适用于一维测量,对于二维及三维测量,由于仪器结构布局,特别是多维导轨的布局,难以避免堆叠式结构的出现,这就会因导轨直线度而造成一次阿贝误差。计算机及CAA技术的出现使多维结构的精度有了保证,但这种技术的作用是有限的,其对于高精度测量,特别是纳米及亚纳米精度的测量是不适用的。所以,必须寻求新的原则,因此,我们提出了满足"331原则"的结构布局,能有效保证亚纳米级测量的精度。

作者：

费业泰、王晨晨

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作者单位：

合肥工业大学

关键词：

331原则结构布局三维测量系统纳米精度

主办单位：

计量工程学会

全国误差与不确定度研究会

会议名称：

2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会

会议时间：

2009-08-25

会议地点：

台湾

会议母体文献：

2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会论文集

页码：

78-79

出版时间：

2009