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利用碘酒钝化测量晶体硅体少子寿命
陈静伟 1赵雷 1刁宏伟 1闫保军 1周素 1汤叶华 1王革 1王文静1
作者信息
- 1. 中国科学院太阳能热利用及光伏系统重点实验室, 中国科学院电工研究所, 北京 100190
- 折叠
摘要
利用微波光电导衰减法(μPCD)测量晶体硅的有效少子寿命τeff,采用不同浓度(0.04mol/L~0.4mol/L)的碘酒溶液分别对n 型CZ 硅片和p 型CZ 硅片进行钝化,结果表明：碘酒溶液浓度在0.08mol/L~0.16 mol/L时,对硅片钝化最为有效,测量有效少子寿命τeff 最高,n 型硅片为973.71μs,p 型硅片为362.6μs；之后采用0.08mol/L的碘酒溶液对硅片进行钝化,测量了有效少子寿命随时间的衰减规律；并通过对碘酒溶液钝化不同厚度硅片后的有效少子寿命τeff的测量结合理论计算,获得了硅片的体少子寿命τb.
关键词
体少子寿命/微波光电导衰减法/碘酒钝化/晶体硅引用本文复制引用
主办单位
中国可再生能源学会/中科院会议名称
第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12）会议时间
2012-09-05会议地点
北京会议母体文献
第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12）论文集页码
1-3出版时间
2012