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磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜及其性能研究
张基东 1杨海刚 1宋桂林 1王天兴 1郝瑞亭 2常方高1
作者信息
- 1. 河南师范大学物理与信息工程学院,河南省光伏重点实验室 河南 新乡 453007
- 2. 云南师范大学太阳能研究所 云南 昆明 650092
- 折叠
摘要
采用固相反应法制备了铜锌锡硫四元化合物靶材,利用该靶材在玻璃衬底上通过射频溅射方法沉积得到了铜锌锡硫(CZTS)薄膜.利用X 射线衍射仪(XRD)对薄膜样品的结构进行了表征,采用紫外-可见-近红外分光光度计对薄膜样品的光学性能进行了测试分析,研究了溅射气压与退火条件对样品的晶体结构、光吸收系数和禁带宽度等性能的影响关系.
关键词
射频磁控溅射/铜锌锡硫/太阳能电池/固相反应法/薄膜样品/光学性能引用本文复制引用
主办单位
中国可再生能源学会/中科院会议名称
第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12）会议时间
2012-09-05会议地点
北京会议母体文献
第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12）论文集页码
1-4出版时间
2012