沉积温度对脉冲化学液气相沉积工艺制备C/SiC复合材料力学性能及微观结构的影响

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中文摘要：以液态聚碳硅烷为先驱体,采用脉冲化学液气相沉积工艺在3h的时间内,不同的温度下制备了C/SiC复合材料.采用排煤油法测量了材料的密度,3点弯曲法测试材料的力学性能,采用X射线衍射及扫描电子显微镜研究沉积产物的物相组成及弯曲试样的断口形貌.结果表明:在沉积温度低于1200℃时,随着沉积温度的升高,复合材料的致密度及弯曲强度随之增加,且沉积产物中游离碳的含量逐渐减少,β-SiC的结晶度也逐渐提高;当沉积温度由1200℃升高到1400℃时,C/SiC复合材料的弯曲强度从231.5MPa降低到198.6MPa,断裂方式由假塑性断裂向脆性断裂转变.

作者：

Mei Min、梅敏、He Xinbo、何新波、Qu Xuanhui、曲选辉、Hu Haifeng、胡海峰、Zhang Yudi、张玉娣、Chen Si'an、陈思安

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作者单位：

University of Science and Technology Beijing,Beijing 100083,China

北京科技大学,北京100083

National University of Defense Technology,Changsha 410073,China

国防科学技术大学,湖南长沙410073

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关键词：

航空航天工程碳/碳化硅复合材料脉冲化学液气相沉积力学性能微观结构

主办单位：

中国硅酸盐学会

会议名称：

第十七届全国高技术陶瓷学术年会

会议时间：

2012-09-01

会议地点：

南京

会议母体文献：

第十七届全国高技术陶瓷学术年会论文集

页码：

623-625

出版时间：

2012