多晶硅太阳电池多层减反射膜的设计及研制

康海涛 ¹和江变 ²倪明镜 ³李健³

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作者信息

1. 内蒙古大学物理科学与技术学院
2. 内蒙古自治区半导体光伏技术重点实验室,呼和浩特010021
3. 内蒙古日月太阳能科技责任有限公司
折叠

摘要

采用导纳矩阵法-等效界面模型和太阳能电池计算机设计软件,模拟设计出多晶硅太阳电池表面三层氮化硅减反射膜.将设计得到的最优组合结果用于沉积三层氮化硅薄膜的实践中,用等离子增强化学气相淀积(PECVD)法在多晶硅片上沉积氮化硅膜.分别用激光椭圆偏振仪、紫外可见分光光度计和少子寿命测试仪测试氮化硅膜的膜厚、折射率、反射率和少子寿命.初步实验结果显示:80nm左右的三层复合氮化硅减反射膜具有良好的减反射作用,在入射光为650nm范围内,反射率降到2％.

关键词

晶硅太阳电池/减反射膜/计算机辅助设计/产品质量

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主办单位

中国可再生能源学会

会议名称

第13届中国光伏大会

会议时间

2013-09-05

会议地点

北京

会议母体文献

第13届中国光伏大会论文集

页码

35-38

出版时间

2013

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