摘要
在产线工艺的基础上,研发金属催化化学刻蚀技术,从而制备出具有微米/纳米复合绒面结构的多晶硅太阳电池片.通过对纳米黑硅的修正刻蚀,实现电池片光学性能和电学性能的同步提高;通过系统的优化,黑硅电池的性能特别是其短路电流有了150-300mA的提高,主要得益于电池的蓝光响应特性的改善.目前,小批量生产多晶黑硅电池的平均光电转换效率己达到18.05%(688片),电池最高效率可达18.41%.“纳米绒面”工艺步骤很容易整合到常规电池工艺中,所增加的成本较低,因此多晶黑硅电池具有光明的产业化应用前景.