直流反应磁控溅射CrNx功能装饰涂层的研究

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中文摘要：采用反应磁控溅射制备不同氮气流量下的CrNx膜,观察薄膜颜色的变化,采用球盘式摩擦磨损仪、台阶仪、金相显徼镜测试薄膜的耐磨性能,并采用X射线衍射技术、场发射扫描电镜观测薄膜的相成份以及微观形貌.研究结果表明,随着氮气含量的增加,薄膜颜色由银灰色逐渐过渡为深灰色,薄膜相结构由单相Cr2N转变为Cr2N和CrN混合相继而转变为单相CrN,当氮气流量为20sccm以及30sccm时薄膜表现出良好的耐磨性,当氮气流量为10sccm以及15sccm时薄膜的耐磨性能并不理想.采用高氮气流量的工艺镀中间层,低氮气流量的工艺镀表面层,复合薄膜的耐磨性大幅度提高,同时能够获得美观的银灰色外观.

作者：

张栋、孙丽丽、郑贺、汪爱英

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作者单位：

中科院宁波材料技术与工程研究所表面工程与再制造事业部,宁波 315201

关键词：

金属装饰表面处理直流反应磁控溅射氮铬薄膜

主办单位：

中国机械工程学会

会议名称：

第八届全国表面工程大会暨第三届青年表面工程学术论坛

会议时间：

2010-04-01

会议地点：

北京

会议母体文献：

第八届全国表面工程大会暨第三届青年表面工程学术论坛论文集

页码：

792-795

出版时间：

2010