硅基薄膜太阳能电池模组制备工艺及成套设备

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中文摘要：作为太阳能电池的重要组成部分,硅基薄膜太阳能电池具有技术更成熟、制造成本低、适合批量化生产以及技术发展空间大等优点,越来越受到全球光伏产业的重视.本文介绍了硅基薄膜太阳能电池的制备工艺，薄膜沉积技术主要包含PVD和CVD两种方式，对于采用PVD方法制备的非晶硅薄膜由于含有大量的硅悬挂键缺陷，造成费米能级的钉扎(Fermi能级不能因为掺杂等而发生位置变化的话，那么就称这种情况为费米能级钉扎效应)，难以通过掺杂形成P型或者n型，不能真正使用。目前PECVD是用来生产非晶硅薄膜最主要的方法，利用PECVD技术沉积非晶硅薄膜，主要采用H2稀释SiH4气体或者采用SiH4气体的热分解。并阐述了腾胜真空公司开发的整套电池板模组生产线及交钥匙工程的状况.

作者：

朱刚毅、朱刚劲、朱文廓

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作者单位：

肇庆市腾胜真空技术工程有限公司,广东肇庆526060

关键词：

太阳能电池硅基薄膜制备工艺成套设备

主办单位：

广东省真空学会

会议名称：

广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会

会议时间：

2010-12-01

会议地点：

深圳

会议母体文献：

广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会论文集

页码：

8-18

出版时间：

2010