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摘要
本项目提出的可控气膜微细电化学放电加工技术是针对这些非导电脆性材料微细加工而提出的一种有效方法.气膜生成过程与放电过程的协调与平衡;工具工件倒置式加工方式;高频振动对微细电化学放电加工的影响;工具电极伺服进给方法;可控气膜微细电化学放电加工的工艺特性。研究了电化学放电加工的电压-电流特性，得出最优加工电压与工具电极反应面积关系。基于力反馈控制进给和振动辅助电化学放电加工技术提高了电化学放电加工的加工深度、加工质量、加工效率和重复性。优化了电化学放电加工工艺参数，获得了尺寸为l0um的微孔结构。实现了非导电陶瓷、防热玻璃等脆性材料的精密高效微细加工。
关键词
非导电脆性材料/电化学放电加工/气膜控制/微孔结构引用本文复制引用
主办单位
国家自然科学基金委员会会议名称
第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016）会议时间
2016-08-10会议地点
沈阳会议母体文献
第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016）论文集页码
248出版时间
2016