喷墨打印IGZO TFT中“咖啡环”效应的调控

HUANG Hang ¹黄航 ¹ZHU Jingguang ¹朱敬光 ¹HU Hailong 胡海龙 GUO Tailiang 郭太良

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作者信息

1. 福州大学物理与信息工程学院,福建,福州,350002
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摘要

本文采用喷墨打印法制备IGZO TFT器件,通过调节衬底温度和前驱体溶液浓度实现对"咖啡环"效应进行调控.利用粘度计、全自动表面张力仪对所配制前驱体溶液的粘度、张力进行测量,利用表面轮廓仪、光学显微镜、半导体参数分析仪等对所制备TFT器件的表面形貌、电学性能进行表征分析.研究表明,衬底温度和前驱体溶液浓度对打印出薄膜的"咖啡环"效应有较大的影响,当前驱体溶液浓度为1.5M,衬底温度为40℃时薄膜均匀性最好,所制备的TFT器件的迁移率为1.60cm2/Vs,阈值电压为-5V,亚阈值摆幅为0.94V/dec,电流开关比为2.16×106.

关键词

薄膜晶体管/喷墨打印/咖啡环效应/电学性能/表面形貌

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主办单位

中国真空学会/中国物理学会/中国电子学会

会议名称

2016中国平板显示学术会议

会议时间

2016-09-22

会议地点

合肥

会议母体文献

2016中国平板显示学术会议论文集

页码

245-250

出版时间

2016

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