低功耗/超低功耗半导体新器件技术

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中文摘要：随着集成电路(IC)的不断发展,IC技术进入了"功耗限制"的时代,功耗成为集成电路发展的核心瓶颈问题,面向不同集成电路技术代、不同电路系统应用的新器件技术备受关注.本文以低功耗/超低功耗系统应用为目标,介绍具有良好工艺兼容性和集成潜力的低功耗/超低功耗新结构新机理器件,并对影响功耗的纳米尺度器件可靠性/涨落性问题进行分析讨论,为不同功耗水平要求的"绿色"微纳集成电路及系统技术发展奠定基础.

作者：

黄如

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作者单位：

北京大学,北京 100871

关键词：

半导体器件结构特征能耗效率可靠性分析

主办单位：

中国科学院学部

会议名称：

中国科学院第十八次院士大会暨第五届学部学术年会

会议时间：

2016-06-01

会议地点：

北京

会议母体文献：

中国科学院第十八次院士大会暨第五届学部学术年会论文集

页码：

378-387

出版时间：

2016