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西门子自动化产品在真空磁控溅射镀膜控制系统的应用

李子浩 李梓源 贾建涛
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西门子自动化产品在真空磁控溅射镀膜控制系统的应用

李子浩 1李梓源 2贾建涛
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  • 1. 深圳市新旗滨科技有限公司 深圳
  • 2. 浙江旗滨节能玻璃有限公司 浙江
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摘要

本文介绍了西门子自动化产品在磁控溅射镀膜控制系统的应用,以两台SMATIC S7-400为核心控制.其中,WinCC和S7-400采用以太网进行通信,远程智能从站模块和S7-400均采用Profibus通信进行连接.

关键词

玻璃制造设备/真空磁控溅射镀膜/控制系统/通信技术

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主办单位

西门子（中国）有限公司

会议名称

2018西门子工业专家会议

会议时间

2018-09-01

会议地点

苏州

会议母体文献

2018西门子工业专家会议论文集

页码

154-162

出版时间

2018
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