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三氟化氮发展及展望
Yin Qiang 1尹强 1Jia XiangRui 1贾湘锐 2Mao YuanWen 1毛沅文 Fang GengLe 方耿乐 Zhou Yang 周阳
作者信息
- 1. 广东省计量科学研究院,广州
- 2. 华南国家计量测试中心香港实验室,香港
- 折叠
摘要
三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,在过去几十年里得到了充分的研究.本文综述了NF3的合成、用途及检测方法.尽管三氟化氮对温室效应有一定的影响,但在短期内仍是一种不可替代的重要工业气体,需要进一步解决三氟化氮生产过程的泄露及检测问题.
关键词
三氟化氮/制备工艺/温室效应/气体泄露/传感器引用本文复制引用
主办单位
中国仪器仪表学会会议名称
2018粤港澳大湾区智能检测与协同创新青年论坛会议时间
2018-08-01会议地点
广州会议母体文献
2018粤港澳大湾区智能检测与协同创新青年论坛论文集页码
443-448出版时间
2018