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微环境控制系统的原理与应用
LI Wen-zhao 1李文昭 2ZHENG Quan 1郑权 2ZUO Zhi-min 1左志民2
作者信息
- 1. 东旭集团有限公司 石家庄市050021
- 2. 平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室 石家庄市 050035
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摘要
微环境控制系统是通过使用混合性保护气体保护铂金通道系统,以减缓铂铑合金的氧化和降低氧气泡的产生.从微环境控制系统的构成、电气控制的原理及微环境控制系统在铂金通道的应用等内容方面进行论述,微环境控制系统通过控制混合性保护气体的氧含量和纯水流量,使混合性保护气体通过管道系统直接布满铂铑合金通道系统的表面,达到控制铂金通道所处的微环境的目的.
关键词
液晶玻璃基板/铂金通道/微环境控制/质量控制引用本文复制引用
主办单位
中国硅酸盐学会会议名称
中国硅酸盐学会电子玻璃分会成立40周年暨电子产业链发展论坛会议时间
2019-10-11会议地点
石家庄会议母体文献
中国硅酸盐学会电子玻璃分会成立40周年暨电子产业链发展论坛论文集页码
238-242出版时间
2019