一种三轴高g值加速度传感器的校准方法

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中文摘要：提出了一种利用Hopkinson杆校准三轴高g值加速度传感器的方法.Hopkinson杆为传感器提供激励,应用激光多普勒干涉仪精确获得激励波形,波形记录仪记录传感器输出与光电输出.使用该方法在量程范围内标定了传感器的灵敏度,并在约15000g加速度水平下对传感器的横向响应进行了分析.

作者：

ZHENG Yu、郑宇、FANG Lan、方岚、Li Su-su、李苏苏

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作者单位：

华东光电集成器件研究所,安徽蚌埠,233042

关键词：

加速度传感器校准方法 Hopkinson杆横向响应

主办单位：

中国仪器仪表学会

中国电子学会

中国航空学会

中国生物工程学会

会议名称：

第十五届全国敏感元件与传感器学术会议

会议时间：

2018-11-01

会议地点：

郑州

会议母体文献：

第十五届全国敏感元件与传感器学术会议论文集

页码：

521-524

出版时间：

2018