NETL
N掺杂含量对a-C∶H(N)热稳定性的影响
Manzhong Yang 1杨满中 2Jihua Peng 2彭继华 1Dongyi Su 苏东艺
作者信息
- 1. 广州今泰科技股份有限公司,广东广州,51000
- 2. 华南理工大学材料学院,广东广州,510640
- 折叠
摘要
利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术在316不锈钢基体表面制备不同掺氮量的a-C∶H(N)薄膜.利用快速红外退火炉对a-C∶H(N)薄膜进行退火处理,采用拉曼光谱研究了退火态薄膜的结构变化,使用微纳米力学综合测量系统对不同退火态薄膜的硬度进行了表征.结果表明,相对于a-C:H薄膜,低氮掺杂可以明显地提高沉积态薄膜中的sp3含量,抑制其高温等温时的石墨化进程.但低氮掺杂增加不稳定碳原子数量,降低了薄膜石墨化的起始温度.随着薄膜中氮含量增加,退火态DLC薄膜硬度随退火温度的变化趋势减缓,氮掺杂改善了薄膜组织结构的动力学石墨化转变速率.
关键词
不锈钢基体/含氢类金刚石薄膜/制备工艺/氮掺杂含量/热稳定性引用本文复制引用
主办单位
广东省真空产业技术创新联盟/广东省真空学会会议名称
粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会会议时间
2018-11-01会议地点
广东肇庆会议母体文献
粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会论文集页码
163-168出版时间
2018