NETL
硅基二氧化硅2×20循环性阵列波导光栅制备
张家顺 1王亮亮 2安俊明 1尹小杰 2李建光 1孙冰丽 2陈军 1胡炎彰2
作者信息
- 1. 中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京
- 2. 河南省光电芯片与集成重点实验室,鹤壁河南
- 折叠
摘要
本文采用硅基二氧化硅材料,设计并制作了针对G.698.4标准的20通道循环型AWG,通道间隔为100GHz,通过机械补偿无热封装后,器件的损耗约≤5.1dB,在-40℃～80℃温度变化量时,波长偏移量在±60pm范围内.
关键词
阵列波导光栅/硅基二氧化硅/无热封装/机械补偿/波长偏移量引用本文复制引用
主办单位
深圳市讯石信息咨询有限公司 会议名称
2020第十九届讯石光纤通讯市场暨技术专题研讨会会议时间
2020-09-01会议地点
深圳会议母体文献
2020第十九届讯石光纤通讯市场暨技术专题研讨会论文集页码
15-22出版时间
2020