沉积温度对SCOT光电性能及表面形貌的影响

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中文摘要：SCOT电学性能随温度升高先增强再降低,而且具有不同于传统TCO材料的低温特性;相对于主流的ITO,SCOT在长波段的透过性表现优秀;温度对SCOT薄膜表面的粗糙程度影响很大;结晶质量越好,光学带隙越小;氧不足和低温同时存在的情况下,会影响SCOT中Ga元素的有效掺杂;高温沉积使薄膜更致密.

作者：

刘奕阳

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作者单位：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

关键词：

氧化物半导体薄膜沉积温度光电性能表面形貌

主办单位：

中国可再生能源学会

上海市太阳能学会

会议名称：

2019年第十五届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议时间：

2019-11-21

会议地点：

上海

会议母体文献：

2019年第十五届中国太阳级硅及光伏发电研讨会论文集

页码：

1-11

出版时间：

2019