合肥同步辐射实验室光谱辐射标准与计量站主要从事标准光源比对原理和方法、探测器标准传递、气体吸收截面测试、反射率及透射率的测试几个方面的工作,其中反射率计主要用于测量各种光学元器件的反射率.它的建立为国内X射线～真空紫外波段光栅、反射镜的测试作出了重要贡献.但该装置实际使用也发现存在着一些严重影响测试精度和测试效率的问题: 1)对入射光、反射光不能同时测量,光源出现波动时,严重影响测试精度; 2)测试效率低,"破空--更换样品--重新抽空"这样的工作循环使该装置的使用效率受到严重影响; 3)操作不便. 针对上述问题,通过查阅相关文献,结合实际操作经验,本文在不对现结构作大改动的前提下,提出了几种解决问题的设计方案,具体措施包括: 1)在入射光侧设计-光强测量传感器,实现入射光/反射光基本同步监测; 2)在现有结构基础上,将真空室加长,增加预抽室,更换样品不需破空,大幅提高了反射率计的使用效率; 3)改进滤片送给装置结构,提高滤片使用率并能实现实时更换; 4)重新设计真空室门,大大减轻工作强度. 对改进后的系统真空性能进行了校核,对关键零部件受力情况用ANSYS软件进行了分析,给出了设计图纸.估计改进后的装置测试精度会得到提高,而测试效率至少提高3倍.
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